光刻機上市公司有哪些？據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機上市公司有：
安泰科技，公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。
聯合精密，公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。
智光電氣，公司通過廣州譽芯眾誠股權投資合伙企業（有限合伙）（持股比例30%）間接參股廣州粵芯半導體技術有限公司80%股權，是粵芯的控股股東，粵芯項目是譽芯眾誠的主要投資項目。粵芯半導體一期以90nm-180nm技術產品為主，二期以65nm-90nm技術產品為主。公司于2019年5月在互動平臺透露，粵芯半導體采購的是荷蘭ASML的光刻機，光刻機等主要設備已于2019年3月中旬搬進粵芯半導體主廠房。
京華激光，龍頭。3月31日消息，京華激光截至13時19分，該股跌0.77%，報17.970元，5日內股價上漲3.76%，總市值為32.08億元。
在總資產收益率方面，京華激光從2020年到2023年，分別為9.96%、9.51%、9.51%、6.21%。
公司控股的美國菲涅爾制版科技公司是一家多年從事微結構光學技術研發及相關設備制造和維護的企業，先后研發出多臺技術先進、性能突出、與光學制版有關的光刻機設備，并在全球范圍內獨家供應公司使用。
上海新陽，龍頭。3月31日午后最新消息，上海新陽5日內股價上漲2.21%，截至13時19分，該股報35.600元跌2.18% 。
在總資產收益率方面，公司從2020年到2023年，分別為6.72%、1.38%、0.93%、2.99%。
藍英裝備，龍頭。
公司在總資產收益率方面，從2020年到2023年，分別為-8.92%、-3.08%、-2.55%、-0.98%。
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